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第1231章 把握光刻机路线节点,做牛气甲方 (第2/2页)

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入一九八零年代后,光刻机的光源改用高压汞灯产生的紫外线,其中能量最强的两个谱线,是四百三十六纳米的G线和三百六十五纳米的I线。

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